Վակուումային բաղադրիչներ

Ջերմային բուժումը հիմնականում ներառում է օքսիդացման, դիֆուզիոն և եռացման գործընթացներ:Օքսիդացումը հավելումների գործընթաց է, որի ընթացքում սիլիցիումի վաֆլիները տեղադրվում են բարձր ջերմաստիճանի վառարանում և թթվածին ավելացվում է դրանց հետ արձագանքելու համար վաֆլի մակերեսի վրա սիլիցիում առաջացնելու համար:Դիֆուզիան մոլեկուլային ջերմային շարժման միջոցով նյութերը բարձր կոնցենտրացիայի տարածքից դեպի ցածր կոնցենտրացիայի շրջան տեղափոխելն է, և դիֆուզիոն գործընթացը կարող է օգտագործվել սիլիցիումի ենթաշերտի մեջ հատուկ դոպինգ նյութերի դոպինգի համար՝ դրանով իսկ փոխելով կիսահաղորդիչների հաղորդունակությունը: